玉科經(jīng)濟(jì)型ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

玉科經(jīng)濟(jì)型 HR90 ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵
玉科經(jīng)濟(jì)型ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵

產(chǎn)品型號(hào)：HR90

更新時(shí)間：2025-05-15

廠商性質(zhì)：代理商

訪問(wèn)量：181

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

ULVAC愛(ài)發(fā)科

測(cè)定子真空計(jì)

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詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	輸送介質(zhì)	污水泵、雜質(zhì)泵
泵軸位置	邊立式	葉輪數(shù)目	多級(jí)
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電氣,綜合

玉科經(jīng)濟(jì)型ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵

通過(guò)高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點(diǎn)

高溫區(qū)域均熱化
實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
“Model:UR"可比“Model:HR"更加高溫化。
氦氣密封
通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對(duì)策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等

規(guī)格

型號(hào)

HR60

HR90

HR300

HR600

HR1200

使用泵

干式真空泵

HR60

HR90

HR60

HR90

機(jī)械增壓泵

PRC-003A

PRC-006A

PRC-012A

最大
排氣速度

50Hz

m³/h
(L/min)

62(1030)

112(1860)

359(5,980)

653(10,900)

1,012(16,900)

60Hz

m³/h
(L/min)

80(1333)

126(2100)

365(6,080)

701(11,700)

1,051(17,500)

到達(dá)壓力

0.67

最大排氣壓力
（吸入圧力）

大氣壓 *1

最大排氣壓力
（吸入圧力）

1~ 大氣壓

吸氣口 (CE規(guī)格)

VG50(KF50)

VG80(KF50)

VG80(KF80)

VG100(KF100)

排氣口

KF40

質(zhì)量

180

245

275

370

420

電源

三相

VAC
(Hz)

200(50/60), 220(60)

電流值

穩(wěn)定時(shí)

7.1
(at 200V)

11.2
(at 200V)

7.8
(at 200V)

12.9
(at 200V)

15.4
(at 200V)

最大值

7.3
(at 200V)

11.8
(at 200V)

8.1
(at 200V)

13.8
(at 200V)

18.9
(at 200V)

冷卻水一次圧力

MPa

0.1~0.3

冷卻水出入口壓差

MPa

>0.1

冷卻水流量

L/min

>5.0

吹掃氣

一次壓力

MPa

0.1~0.5

二次壓力

MPa

0.05~0.1

N2吹掃

軸

SLM

氣鎮(zhèn)

SLM

0~45

*1 HR300、HR600、HR1200請(qǐng)勿在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

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