全自動(dòng)ACCRETECH東京精密紫外激光切割機(jī)

全自動(dòng)ACCRETECH東京精密紫外激光切割機(jī)

新型的激光引擎機(jī)構(gòu)，兼顧高質(zhì)量加工和高生產(chǎn)效率。
傳統(tǒng)的激光開(kāi)槽工藝難以兼顧高質(zhì)量加工和高生產(chǎn)效率，兩者之間存在著一種“權(quán)衡"關(guān)系。 
通過(guò)新型的激光引擎機(jī)構(gòu)+高剛性平臺(tái)的組合，我們提供了一種高質(zhì)量、高生產(chǎn)效率的激光開(kāi)槽工藝，解決了兩者之間的“權(quán)衡"問(wèn)題。 

φ300mm晶圓對(duì)應(yīng)全自動(dòng)激光開(kāi)槽機(jī)
自動(dòng)支持從水溶性保護(hù)膜分配到激光切割、清洗的一系列工序。 

支持激光開(kāi)槽工藝。
光學(xué)設(shè)計(jì)非常適合低k分組和從街道上方去除TEG。 
加工變形和熱損傷被控制在較低限度，并形成穩(wěn)定的加工槽。 

操作性：
采用17英寸觸摸屏+GUI（圖形用戶界面）。 
只需輕觸圖標(biāo)化的按鈕，即可輕松便捷地進(jìn)行操作。 
搭載與AD/SS系列通用的操作系統(tǒng)，操作簡(jiǎn)便。