產(chǎn)品概述

USHIO UVL-7000M4-0是日本牛尾公司推出的一款超高壓紫外線(xiàn)燈管，專(zhuān)為精密光刻工藝而設(shè)計(jì)。該產(chǎn)品在半導(dǎo)體制造、液晶顯示器生產(chǎn)和印刷電路板制作等領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵作用，是微細(xì)電路形成過(guò)程中的核心組件。

作為高壓汞燈的一種，UVL-7000M4-0采用了超高壓短弧設(shè)計(jì)，能夠有效利用365nm-436nm波段的紫外線(xiàn)，具有壽命長(zhǎng)、輻照度穩(wěn)定、亮度高等特點(diǎn)，能滿(mǎn)足現(xiàn)代電子產(chǎn)業(yè)對(duì)精密光刻的苛刻要求。

技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

的光學(xué)性能

UVL-7000M4-0顯著的特點(diǎn)是其點(diǎn)狀光源特性?；⌒纬叽绶浅＝咏硐朦c(diǎn)光源，這使得光線(xiàn)擴(kuò)散更加容易且均勻，能夠獲得高質(zhì)量的平行光，從而在光刻過(guò)程中實(shí)現(xiàn)高的分辨率。對(duì)于追求微米級(jí)甚至納米級(jí)電路形成的現(xiàn)代電子制造來(lái)說(shuō)，這種光學(xué)特性至關(guān)重要。

廣泛的波長(zhǎng)覆蓋

該燈管經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)開(kāi)發(fā)，可有效利用紫外線(xiàn)波長(zhǎng)中的三條主要射線(xiàn)（365nm、436nm和405nm），覆蓋了光刻工藝中常用的光譜范圍。這種多波長(zhǎng)協(xié)調(diào)輸出確保了在各種光刻膠材料上都能獲得優(yōu)異的曝光效果。

高照度與長(zhǎng)壽命

UVL-7000M4-0具備高照度輸出，能夠充分發(fā)揮現(xiàn)有設(shè)備的最大性能。通過(guò)使用這種高強(qiáng)度燈管，可以有效提升設(shè)備的生產(chǎn)效率和生產(chǎn)能力（Throughput）。同時(shí)，該產(chǎn)品還提供了持久的使用壽命，普通型保用800小時(shí)，正?？墒褂?000小時(shí)以上；長(zhǎng)效型保用1500小時(shí)，正常使用可達(dá)2000小時(shí)以上。

功率范圍齊全

牛尾公司提供了從100W到35kW的齊全產(chǎn)品系列，滿(mǎn)足了不同規(guī)模設(shè)備和工藝需求。這種廣泛的功率范圍使得UVL-7000M4-0能夠適應(yīng)從研發(fā)到大規(guī)模生產(chǎn)的各種應(yīng)用場(chǎng)景。

主要應(yīng)用領(lǐng)域

USHIO UVL-7000M4-0紫外線(xiàn)燈管在多個(gè)高科技制造領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用：

• 半導(dǎo)體回路形成：為半導(dǎo)體元件的微細(xì)電路光刻提供高性能曝光光源

• 液晶顯示器制造：用于液晶面板、彩色濾光片以及PDP（等離子顯示器）的回路形成

• 印刷電路板制作：應(yīng)對(duì)PCB大型化和線(xiàn)路細(xì)微化的趨勢(shì)，提供均勻高效的曝光

• MEMS制造：為微機(jī)電系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)與生產(chǎn)提供可靠的光刻解決方案

• OLED和觸摸屏生產(chǎn)：適應(yīng)新型顯示技術(shù)的曝光需求

安裝與維護(hù)指南

安裝注意事項(xiàng)

在安裝UVL-7000M4-0燈管時(shí)，必須遵循規(guī)范流程，確保安全和性能：

• 佩戴防護(hù)用具：操作時(shí)應(yīng)戴上棉手套，避免裸露的皮膚直接接觸UV燈泡。皮膚上的化合物受熱時(shí)可能在UV燈表面形成腐蝕，弄臟的燈泡可能會(huì)損壞

• 清潔準(zhǔn)備工作：在插入新的UV燈泡前，需要打開(kāi)UV遮板，用浸濕異丙醇的無(wú)絨抹布清潔反光罩表面

• 精準(zhǔn)安裝：拿起新燈泡時(shí)應(yīng)持陶瓷端，一次一端將燈泡插入固定器卡圈內(nèi)，確保燈泡居中，兩端牢牢固定在卡圈內(nèi)

維護(hù)要點(diǎn)

定期維護(hù)是保證燈管性能和使用壽命的關(guān)鍵：

• 清潔周期：至少在每次更換燈泡時(shí)清潔反光罩，否則UV燈的固化能力將會(huì)下降

• 全面清潔：使用浸濕異丙醇的無(wú)絨抹布清潔UV燈座鏟斗底部的石英窗口兩側(cè)

• 專(zhuān)業(yè)維護(hù)：建議由專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員進(jìn)行維護(hù)操作，避免因操作不當(dāng)造成的設(shè)備損壞或性能下降

技術(shù)規(guī)格

根據(jù)搜索結(jié)果，UVL-7000M4-0的主要技術(shù)參數(shù)如下：

總結(jié)

USHIO UVL-7000M4-0紫外線(xiàn)燈管憑借其優(yōu)異的光學(xué)性能、穩(wěn)定的輸出特性和長(zhǎng)使用壽命，成為了光刻領(lǐng)域的高品質(zhì)光源解決方案。特別是在當(dāng)前電子設(shè)備向更小、更輕、更高效發(fā)展的趨勢(shì)下，對(duì)精密光刻工藝提出了更高要求，UVL-7000M4-0這類(lèi)高性能紫外線(xiàn)燈管的作用將愈發(fā)重要。

無(wú)論是提升現(xiàn)有設(shè)備的生產(chǎn)效率，還是開(kāi)發(fā)新一代光刻設(shè)備，USHIO UVL-7000M4-0都能提供可靠的光源支持，助力半導(dǎo)體、顯示器和電子電路制造行業(yè)實(shí)現(xiàn)技術(shù)創(chuàng)新和工藝突破。